
针对不同类型以及厂家生产的洁净室设备进行了对比研究,从速率、转动方式、材质等方面着手,确定了设备产尘大小,以此作为洁净室污染控制的依据,为洁净室通风设备提供计算支持,降低污染控制难度。
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